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半自動晶圓超聲掃描顯微鏡
應用范圍

6、8、12寸晶圓鍵合檢測

設備優勢

系統內無金屬污染,配置微型環境(FFU)封裝設計

滿足掃描過程的Class2(100級)清潔度要求

配置晶圓自動入水機構

左右雙探頭同時掃描,提示掃描效率

整體有效掃描范圍:420mm×320mm

可依據晶圓尺寸定制晶圓專用載臺

主要參數
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
雙探頭,分工位掃描
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描(隔行差值掃描)
三軸平臺
大理石平臺
XY軸
直線電機、龍門雙驅
治具
晶圓專用載具
上下料
半自動,傾斜出入水
潔凈度
百級
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