英文
400-888-0829
離線式晶圓超聲掃描顯微鏡
應用范圍
6、8、12寸晶圓鍵合檢測
設備優勢
系統內無金屬污染，配置微型環境（FFU）封裝設計
滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求
支持高精掃描、快速掃描
可定制晶圓載具
可選配雙探頭
主要參數
外形尺寸
1200㎜(L)×1000㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
單探頭
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平臺
大理石平臺
XY軸
直線電機、龍門雙驅
治具
晶圓專用載具
上下料
手動放置
潔凈度
百級
滬公網安備 31011202013830號