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半自動晶圓超聲掃描顯微鏡
應(yīng)用范圍

6、8、12寸晶圓鍵合檢測

設(shè)備優(yōu)勢

系統(tǒng)內(nèi)無金屬污染,配置微型環(huán)境(FFU)封裝設(shè)計

滿足掃描過程的Class2(100級)清潔度要求

配置晶圓自動入水機(jī)構(gòu)

左右雙探頭同時掃描,提示掃描效率

整體有效掃描范圍:420mm×320mm

可依據(jù)晶圓尺寸定制晶圓專用載臺

主要參數(shù)
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
雙探頭,分工位掃描
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發(fā)射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描(隔行差值掃描)
三軸平臺
大理石平臺
XY軸
直線電機(jī)、龍門雙驅(qū)
治具
晶圓專用載具
上下料
半自動,傾斜出入水
潔凈度
百級
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